本技術(shù)涉及晶圓盒，具體而言，涉及一種晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)和晶圓容納裝置。
背景技術(shù)：
1、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展，通常需要對晶圓進(jìn)行工藝處理，晶圓是半導(dǎo)體集成電路制作時的硅晶片，通過依次在晶圓表面形成晶體管來實(shí)現(xiàn)處理，晶圓依不同的尺寸可分為6寸、8寸、12寸不等，其制造的晶圓成本較貴，因此通常保存在氮?dú)夤裰?，而氮?dú)夤裢ǔ２捎脵C(jī)械鎖方式實(shí)現(xiàn)上鎖，這種將氮?dú)夤裆湘i的方式會帶來取放十分不便的問題，并且一旦忘記鑰匙則無法打開。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)和晶圓容納裝置，其能夠?qū)崿F(xiàn)利用磁力開合，實(shí)現(xiàn)晶圓盒的開閉，取放晶圓十分方便，并且無需使用機(jī)械鎖和鑰匙，避免了無法打開的情況。
2、本實(shí)用新型的實(shí)施例是這樣實(shí)現(xiàn)的：
3、第一方面，本實(shí)用新型提供一種晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，包括：
4、鎖扣外殼，用于設(shè)置在晶圓盒上，且所述鎖扣外殼上設(shè)置有連通至所述晶圓盒內(nèi)部的連通凹槽；
5、兩個相對設(shè)置的磁芯鎖扣門板，兩個所述磁芯鎖扣門板相對設(shè)置在所述連通凹槽中，并連接至所述連通凹槽的內(nèi)側(cè)壁；
6、磁性鎖芯，所述磁性鎖芯活動設(shè)置在所述磁芯鎖扣門板內(nèi)，用于在磁力作用下選擇性地鎖止所述磁芯鎖扣門板或解鎖所述磁芯鎖扣門板。
7、在可選的實(shí)施方式中，所述磁芯鎖扣門板包括門板本體、固定橫軸和旋轉(zhuǎn)套，所述固定橫軸固定連接于所述連通凹槽的內(nèi)側(cè)壁，所述旋轉(zhuǎn)套可轉(zhuǎn)動地套設(shè)在所述固定橫軸外，所述門板本體與所述固定橫軸連接，并能夠在所述固定橫軸的帶動下相對所述固定橫軸轉(zhuǎn)動，所述磁性鎖芯活動設(shè)置在所述門板本體內(nèi)，并選擇性地鎖止所述旋轉(zhuǎn)套和所述固定橫軸。
8、在可選的實(shí)施方式中，所述門板本體沿所述固定橫軸的軸線方向的兩側(cè)設(shè)置有磁芯容納槽，所述旋轉(zhuǎn)套上對應(yīng)開設(shè)有鎖止孔，所述固定橫軸上對應(yīng)開設(shè)有鎖止槽，所述磁性鎖芯活動設(shè)置在所述磁芯容納槽中，并穿過所述鎖止孔，用于在磁力作用下選擇性地伸入所述鎖止槽。
9、在可選的實(shí)施方式中，兩個所述門板本體上的所述磁芯容納槽分別一一對應(yīng)，且兩個所述門板內(nèi)的所述磁性鎖芯用于相互排斥，以使所述磁性鎖芯相互遠(yuǎn)離并伸入所述鎖止槽。
10、在可選的實(shí)施方式中，所述固定橫軸的兩端設(shè)置有定位凸塊，所述連通凹槽相對的側(cè)壁上開設(shè)有定位凹槽，所述定位凸塊對應(yīng)裝配在所述定位凹槽中，以使所述固定橫軸固定在所述連通凹槽中。
11、在可選的實(shí)施方式中，所述磁芯鎖扣門板還包括磁芯軸套，所述磁芯軸套固定設(shè)置在所述門板本體內(nèi)，并部分伸出所述門板本體與所述旋轉(zhuǎn)套連接，所述磁性鎖芯活動容置在所述磁芯軸套內(nèi)。
12、在可選的實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)套的截面外周面呈偏心輪狀。
13、在可選的實(shí)施方式中，所述連通凹槽包括相互連通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽的尺寸大于所述第二凹槽的尺寸，所述第一凹槽與外部空間連通，所述第二凹槽用于與所述晶圓盒連通。
14、在可選的實(shí)施方式中，所述第一凹槽和所述第二凹槽均呈矩形，且所述鎖扣外殼呈圓形。
15、第二方面，本實(shí)用新型提供一種晶圓容納裝置，包括晶圓盒和如前述實(shí)施方式任一項所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，所述鎖扣外殼設(shè)置在所述晶圓盒的一側(cè)。
16、本實(shí)用新型實(shí)施例的有益效果包括：
17、本實(shí)用新型實(shí)施例提供的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)和晶圓容納裝置，在鎖扣外殼上設(shè)置有連通凹槽，將兩個磁芯鎖扣門板相對設(shè)置在連通凹槽中，并連接至連通凹槽的內(nèi)側(cè)壁，將磁性鎖芯活動設(shè)置在磁芯鎖扣門板內(nèi)，能夠在磁力作用下選擇性地鎖止磁芯鎖扣門板或解鎖磁芯鎖扣門板。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型利用磁性鎖芯來鎖止或解鎖磁芯鎖扣門板，實(shí)現(xiàn)了晶圓盒開口的閉合和打開，能夠?qū)崿F(xiàn)利用磁力開合，實(shí)現(xiàn)晶圓盒的開閉，取放晶圓十分方便，并且無需使用機(jī)械鎖和鑰匙，避免了無法打開的情況。
1.一種晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述磁芯鎖扣門板包括門板本體、固定橫軸和旋轉(zhuǎn)套，所述固定橫軸固定連接于所述連通凹槽的內(nèi)側(cè)壁，所述旋轉(zhuǎn)套可轉(zhuǎn)動地套設(shè)在所述固定橫軸外，所述門板本體與所述固定橫軸連接，并能夠在所述固定橫軸的帶動下相對所述固定橫軸轉(zhuǎn)動，所述磁性鎖芯活動設(shè)置在所述門板本體內(nèi)，并選擇性地鎖止所述旋轉(zhuǎn)套和所述固定橫軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述門板本體沿所述固定橫軸的軸線方向的兩側(cè)設(shè)置有磁芯容納槽，所述旋轉(zhuǎn)套上對應(yīng)開設(shè)有鎖止孔，所述固定橫軸上對應(yīng)開設(shè)有鎖止槽，所述磁性鎖芯活動設(shè)置在所述磁芯容納槽中，并穿過所述鎖止孔，用于在磁力作用下選擇性地伸入所述鎖止槽。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，兩個所述門板本體上的所述磁芯容納槽分別一一對應(yīng)，且兩個所述門板內(nèi)的所述磁性鎖芯用于相互排斥，以使所述磁性鎖芯相互遠(yuǎn)離并伸入所述鎖止槽。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述固定橫軸的兩端設(shè)置有定位凸塊，所述連通凹槽相對的側(cè)壁上開設(shè)有定位凹槽，所述定位凸塊對應(yīng)裝配在所述定位凹槽中，以使所述固定橫軸固定在所述連通凹槽中。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述磁芯鎖扣門板還包括磁芯軸套，所述磁芯軸套固定設(shè)置在所述門板本體內(nèi)，并部分伸出所述門板本體與所述旋轉(zhuǎn)套連接，所述磁性鎖芯活動容置在所述磁芯軸套內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)套的截面外周面呈偏心輪狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連通凹槽包括相互連通的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽的尺寸大于所述第二凹槽的尺寸，所述第一凹槽與外部空間連通，所述第二凹槽用于與所述晶圓盒連通。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第一凹槽和所述第二凹槽均呈矩形，且所述鎖扣外殼呈圓形。
10.一種晶圓容納裝置，其特征在于，包括晶圓盒和如權(quán)利要求1-9任一項所述的晶圓鎖扣機(jī)構(gòu)，所述鎖扣外殼設(shè)置在所述晶圓盒的一側(cè)。