本技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備，尤其涉及一種腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
1、半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其是氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，各種各樣的工藝腔體都需要進(jìn)行開蓋檢查或者對(duì)腔體內(nèi)部進(jìn)行清理，腔體蓋采用合金材料加工成型，普遍都比較笨重，重則幾百斤。
2、現(xiàn)有技術(shù)中，在開合腔體的時(shí)候，通過氣缸來輔助開關(guān)，但是腔體上部分重量大約100kg，氣缸頂起腔體蓋會(huì)很費(fèi)力，長時(shí)間使用氣缸會(huì)容易損壞，或者在頂升的過程中發(fā)生損壞，操作危險(xiǎn)性很高。同時(shí)，在開關(guān)的過程中容易造成腔體上部分落下，對(duì)氣缸和腔體都會(huì)造成傷害，具有很大安全隱患。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為解決現(xiàn)有技術(shù)中的至少一個(gè)技術(shù)問題，本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，操作安全、使用壽命長。為實(shí)現(xiàn)以上技術(shù)目的，本實(shí)用新型實(shí)施例采用的技術(shù)方案是：
2、本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括：
3、腔體，所述腔體包括開口，?所述腔體的側(cè)邊設(shè)有安裝座，所述安裝座上設(shè)有調(diào)節(jié)組件；
4、傳動(dòng)組件，所述傳動(dòng)組件包括：
5、轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述安裝座上，
6、齒輪組件，包括至少兩個(gè)相互嚙合的齒輪，一所述齒輪固定連接所述轉(zhuǎn)軸、另一所述齒輪連接所述調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件能夠驅(qū)使所述齒輪組件轉(zhuǎn)動(dòng)或停止；
7、蓋體組件，連接所述轉(zhuǎn)軸，所述蓋體組件能夠覆蓋或打開所述開口。進(jìn)一步地，所述齒輪組件包括：
8、相互嚙合的第一齒輪和第二齒輪，所述第一齒輪固定連接所述調(diào)節(jié)組件；
9、相互嚙合的第三齒輪和第四齒輪，所述第四齒輪固定連接所述轉(zhuǎn)軸，
10、所述第二齒輪與所述第三齒輪同軸且固定連接。
11、進(jìn)一步地，所述安裝座包括：
12、第一安裝座，所述轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述第一安裝座上，所述齒輪組件固定設(shè)置在所述第一安裝座上；
13、第二安裝座，設(shè)于所述腔體的側(cè)邊，所述第一安裝座固定連接在所述第二安裝座靠近所述蓋體組件的一側(cè)。
14、進(jìn)一步地，所述腔體的側(cè)邊設(shè)有若干第一裝配孔，所述第二安裝座上設(shè)有若干第一安裝孔，所述第一安裝孔與所述第一裝配孔的位置一一對(duì)應(yīng)；
15、所述腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括若干安裝螺栓，任一所述安裝螺栓穿過一所述第一安裝孔、并與一所述第一裝配孔螺紋連接。
16、進(jìn)一步地，還包括防護(hù)罩，所述防護(hù)罩固定設(shè)置在所述第一安裝座上，所述齒輪組件設(shè)于所述防護(hù)罩中。
17、進(jìn)一步地，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)手柄，所述調(diào)節(jié)手柄的一端貫穿所述防護(hù)罩、并于所述防護(hù)罩轉(zhuǎn)動(dòng)連接；
18、所述齒輪組件設(shè)于所述防護(hù)罩中、并固定套設(shè)在所述調(diào)節(jié)手柄上。
19、進(jìn)一步地，所述第二安裝座上還設(shè)有若干第二安裝孔，若干所述第二安裝孔沿高度方向間隔設(shè)置；
20、所述蓋體組件上設(shè)于第三安裝孔；
21、所述調(diào)節(jié)組件還包括液壓桿，所述液壓桿的一端固定設(shè)置在所述第二安裝孔中，所述液壓桿的另一端固定設(shè)置在所述第三安裝孔中。
22、進(jìn)一步地，所述蓋體組件包括：
23、連接件，固定連接所述轉(zhuǎn)軸，所述連接件上設(shè)有所述第三安裝孔；
24、蓋體，連接所述連接件、并設(shè)于所述連接件與所述腔體之間，所述蓋體上設(shè)有所述第三安裝孔。
25、進(jìn)一步地，所述連接件包括：
26、第一豎桿，所述第一豎桿的一端固定連接所述轉(zhuǎn)軸的一端；
27、第二豎桿，所述第二豎桿的一端固定連接所述轉(zhuǎn)軸的另一端，所述第一豎桿和/或所述第二豎桿上設(shè)有所述第三安裝孔；
28、橫桿，所述橫桿的一端與所述第一豎桿固定連接、另一端與所述第二豎桿固定連接。
29、進(jìn)一步地，所述連接件與所述蓋體之間設(shè)有間隔，所述間隔可調(diào)；
30、所述連接件上設(shè)有第一調(diào)節(jié)孔，所述蓋體上設(shè)有第二調(diào)節(jié)孔，所述第二調(diào)節(jié)孔與所述第二調(diào)節(jié)孔的位置一一對(duì)應(yīng)；
31、所述腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)還包括調(diào)節(jié)螺栓，所述調(diào)節(jié)螺栓的桿部背離所述調(diào)節(jié)螺栓頭部的一端設(shè)有螺紋段，所述螺紋段穿過所述第一調(diào)節(jié)孔、并與所述第二調(diào)節(jié)孔螺紋連接；
32、所述第一調(diào)節(jié)孔的孔徑大于所述調(diào)節(jié)螺栓桿部的直徑、并小于所述調(diào)節(jié)螺栓頭部的直徑。
33、本實(shí)用新型實(shí)施例提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是：
34、本實(shí)用新型實(shí)施例通過采用齒輪組件、轉(zhuǎn)軸和調(diào)節(jié)組件的結(jié)合，實(shí)現(xiàn)對(duì)蓋體組件覆蓋或打開腔體的開口，齒輪組件能夠起到減速器的作用，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，相較于使用電子元器件，更加牢靠，不會(huì)出現(xiàn)元器件的損壞，使用周期更長。
1.一種腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
3.如權(quán)利要求1所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
4.如權(quán)利要求3所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
5.如權(quán)利要求3所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
6.如權(quán)利要求5所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
7.如權(quán)利要求3所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
8.如權(quán)利要求7所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
9.如權(quán)利要求8所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，
10.如權(quán)利要求8所述的腔體頂蓋翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于，