本發(fā)明涉及拋光液凈化，具體是涉及一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置。
背景技術(shù)：
1、在化學(xué)機(jī)械拋光(cmp)領(lǐng)域中，拋光液的配方和穩(wěn)定性對拋光效果影響較大，由于在使用過程中，拋光液中會出現(xiàn)多種污染物，因此需要對污染后的拋光液進(jìn)行凈化處理。
2、經(jīng)檢索，現(xiàn)有公告號cn117283461a公開了一種磁流變拋光液分離凈化裝置及方法，包括對拋光液進(jìn)行大粒子過篩的過濾機(jī)構(gòu)、對拋光液中磁性組分進(jìn)行磁吸分離的磁篩機(jī)構(gòu)、儲存分離后的廢液的儲液機(jī)構(gòu)、將分離后的拋光液與新磨料重新混合的混合機(jī)構(gòu)及用于安裝各個(gè)機(jī)構(gòu)的筒身，所述過濾機(jī)構(gòu)、磁篩機(jī)構(gòu)、儲液機(jī)構(gòu)與混合機(jī)構(gòu)均安設(shè)在筒身內(nèi)且依次連通，筒身上還開設(shè)有進(jìn)液口與出液口，所述進(jìn)液口與過濾機(jī)構(gòu)連通，所述出液口與混合機(jī)構(gòu)連通。該發(fā)明可針對性地對使用后的磁流變拋光液組分分離，將磨屑與鈍化磨料依次分離并分別排出，將具有可重復(fù)使用特性的磁性組分回收并與新磨料混合形成新的磁流變拋光液并使用，實(shí)現(xiàn)了磁流變拋光液的凈化與可持續(xù)利用，保證了磁流變拋光液加工性能的穩(wěn)定。
3、由于在使用拋光液的過程中，不僅會出現(xiàn)顆粒污染物(金屬廢屑)，還會出現(xiàn)化學(xué)污染物(包括無機(jī)氧化物和有機(jī)污染物)，無機(jī)氧化物是金屬在拋光過程中會與空氣中的氧氣反應(yīng)，形成氧化物或離子態(tài)金屬，影響拋光液的成分，有機(jī)污染物是油污、灰塵、化學(xué)試劑等在操作過程中混入拋光液，因此僅簡單的通過磨屑與鈍化磨料單獨(dú)分離的方式并不能去除拋光液中的化學(xué)污染物。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明的目的在于提供一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，旨在解決現(xiàn)有的磁流變拋光液分離凈化裝置存在的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案，一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，包括：
3、循環(huán)處理殼體，所述循環(huán)處理殼體包括導(dǎo)液管、沉淀腔體、金屬顆粒流通腔、中和腔體和沉淀物收集腔，所述金屬顆粒流通腔位于導(dǎo)液管與沉淀物收集腔之間，所述沉淀腔體分布于金屬顆粒流通腔內(nèi)側(cè)，所述沉淀物收集腔位于沉淀腔體下方，所述沉淀腔體內(nèi)側(cè)固定連接有第一濾罩和密封套；
4、分離機(jī)構(gòu)，所述分離機(jī)構(gòu)包括活塞殼、第二濾罩、第一中心管和活塞板，所述活塞殼和活塞板均與第一中心管固定連接，所述第二濾罩鑲嵌于活塞殼表面，所述第一中心管表面設(shè)置有出液孔和拋光粒進(jìn)孔，所述第一中心管連通沉淀腔體和中和腔體，所述密封套活動套設(shè)在第一中心管表面，所述活塞殼和活塞板分別與導(dǎo)液管和沉淀腔體內(nèi)壁滑動接觸；
5、與第一中心管連接的伸縮件；
6、與第一中心管連接的生物凈化系統(tǒng)；
7、與第一中心管傳動連接的驅(qū)動模塊。
8、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述生物凈化系統(tǒng)包括第二中心管、螺旋板和微生物附著件，所述螺旋板固定連接在第二中心管表面，所述微生物附著件分布在螺旋板表面，所述第一中心管活動套設(shè)于第二中心管內(nèi)，所述第一中心管表面和第二中心管內(nèi)壁分別設(shè)置有第二鍵條和第二鍵槽，所述第二鍵條與第二鍵槽滑動連接。
9、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述驅(qū)動模塊包括驅(qū)動件、傳動管和傳動齒輪，所述傳動齒輪固定連接在傳動管表面，所述傳動管活動套設(shè)在第一中心管表面，所述第一中心管表面和傳動管內(nèi)壁分別設(shè)置有第一鍵條和第一鍵槽，所述第一鍵條與第一鍵槽滑動連接，所述驅(qū)動件與傳動齒輪傳動連接。
10、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述金屬顆粒流通腔的內(nèi)徑大于導(dǎo)液管的內(nèi)徑，所述沉淀物收集腔的內(nèi)徑大于沉淀腔體的內(nèi)徑。
11、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述第一濾罩、活塞板和第二濾罩截面均為錐形，所述第一濾罩和活塞板分別朝向?qū)б汗芎统恋砬惑w內(nèi)壁傾斜，所述第二濾罩朝向第一中心管傾斜，所述活塞殼內(nèi)部截面為錐形，所述活塞殼內(nèi)部朝向第一中心管傾斜。
12、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述第一濾罩位于密封套下方，所述伸縮件驅(qū)使活塞殼和活塞板分別移動至金屬顆粒流通腔和沉淀物收集腔內(nèi)時(shí)，所述出液孔分布于密封套內(nèi)，所述第二鍵條脫離第二鍵槽，所述伸縮件驅(qū)使活塞殼和活塞板分別移動至導(dǎo)液管和沉淀腔體內(nèi)時(shí)，所述拋光粒進(jìn)孔分布于密封套內(nèi)，所述第二鍵條位于第二鍵槽內(nèi)。
13、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述沉淀腔體與中和腔體之間設(shè)置有連通管組，所述沉淀腔體和中和腔體分別設(shè)置有重金屬含量監(jiān)測模塊和ph值監(jiān)測模塊，所述中和腔體連接有輸送管組和循環(huán)管組。
14、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述沉淀物收集腔設(shè)置有排污通道。
15、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述分離機(jī)構(gòu)還包括密封板，所述密封板固定連接在第一中心管內(nèi)，所述密封板分布在出液孔和拋光粒進(jìn)孔之間。
16、作為本發(fā)明的進(jìn)一步方案，所述循環(huán)處理殼體還包括位于沉淀物收集腔內(nèi)的中心罩，所述驅(qū)動模塊和伸縮件均連接在中心罩內(nèi)。
17、本發(fā)明的有益效果：(1)本申請不僅能夠凈化去除拋光液中的金屬碎屑以及鉛離子、銅離子、鐵離子、鋅離子等離子態(tài)重金屬，還能夠在凈化離子態(tài)重金屬前單獨(dú)將拋光液中的拋光粒輸送至中和腔體內(nèi)，不僅能夠防止凈化離子態(tài)重金屬的過程中造成拋光粒流失，還能夠自動將拋光粒與凈化后的拋光液混合，具備拋光?；厥胀暾院煤妥詣訉伖饬Ｅc凈化后的拋光液混合的特點(diǎn)；
18、(2)本申請通過控制分離機(jī)構(gòu)升降和旋轉(zhuǎn)的方式，不僅能夠完成控制金屬顆粒、沉淀物和拋光粒的過濾和輸送，還能夠控制微生物在不同方位或不同重金屬濃度的拋光液中均勻分布，具備凈化效果好、拋光液回收方便和工作效率高的特點(diǎn)。
1.一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述生物凈化系統(tǒng)(4)包括第二中心管(41)、螺旋板(42)和微生物附著件(43)，所述螺旋板(42)固定連接在第二中心管(41)表面，所述微生物附著件(43)分布在螺旋板(42)表面，所述第一中心管(33)活動套設(shè)于第二中心管(41)內(nèi)，所述第一中心管(33)表面和第二中心管(41)內(nèi)壁分別設(shè)置有第二鍵條(39)和第二鍵槽，所述第二鍵條(39)與第二鍵槽滑動連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述驅(qū)動模塊(5)包括驅(qū)動件(51)、傳動管(52)和傳動齒輪(53)，所述傳動齒輪(53)固定連接在傳動管(52)表面，所述傳動管(52)活動套設(shè)在第一中心管(33)表面，所述第一中心管(33)表面和傳動管(52)內(nèi)壁分別設(shè)置有第一鍵條(38)和第一鍵槽，所述第一鍵條(38)與第一鍵槽滑動連接，所述驅(qū)動件(51)與傳動齒輪(53)傳動連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述金屬顆粒流通腔(23)的內(nèi)徑大于導(dǎo)液管(21)的內(nèi)徑，所述沉淀物收集腔(26)的內(nèi)徑大于沉淀腔體(22)的內(nèi)徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述第一濾罩(221)、活塞板(37)和第二濾罩(32)截面均為錐形，所述第一濾罩(221)和活塞板(37)分別朝向?qū)б汗?21)和沉淀腔體(22)內(nèi)壁傾斜，所述第二濾罩(32)朝向第一中心管(33)傾斜，所述活塞殼(31)內(nèi)部截面為錐形，所述活塞殼(31)內(nèi)部朝向第一中心管(33)傾斜。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述第一濾罩(221)位于密封套(222)下方，所述伸縮件(11)驅(qū)使活塞殼(31)和活塞板(37)分別移動至金屬顆粒流通腔(23)和沉淀物收集腔(26)內(nèi)時(shí)，所述出液孔(34)分布于密封套(222)內(nèi)，所述第二鍵條(39)脫離第二鍵槽，所述伸縮件(11)驅(qū)使活塞殼(31)和活塞板(37)分別移動至導(dǎo)液管(21)和沉淀腔體(22)內(nèi)時(shí)，所述拋光粒進(jìn)孔(35)分布于密封套(222)內(nèi)，所述第二鍵條(39)位于第二鍵槽內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述沉淀腔體(22)與中和腔體(25)之間設(shè)置有連通管組(7)，所述沉淀腔體(22)和中和腔體(25)分別設(shè)置有重金屬含量監(jiān)測模塊(6)和ph值監(jiān)測模塊(10)，所述中和腔體(25)連接有輸送管組(8)和循環(huán)管組(9)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述沉淀物收集腔(26)設(shè)置有排污通道(261)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述分離機(jī)構(gòu)(3)還包括密封板(36)，所述密封板(36)固定連接在第一中心管(33)內(nèi)，所述密封板(36)分布在出液孔(34)和拋光粒進(jìn)孔(35)之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于回收拋光液的循環(huán)處理裝置，其特征在于，所述循環(huán)處理殼體(2)還包括位于沉淀物收集腔(26)內(nèi)的中心罩(27)，所述驅(qū)動模塊(5)和伸縮件(11)均連接在中心罩(27)內(nèi)。