本文提供的實(shí)施例涉及一種檢查圖像增強(qiáng)技術(shù)，更具體地，涉及通過同時(shí)執(zhí)行聚焦序列和局部對(duì)準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行檢查圖像增強(qiáng)。
背景技術(shù)：
1、在集成電路(ic)的制造過程中，需要對(duì)未完成或已完成的電路部件進(jìn)行檢查，以確保其根據(jù)設(shè)計(jì)要求被制造并且無(wú)缺陷?？梢圆捎美霉鈱W(xué)顯微鏡或帶電粒子(例如，電子)束顯微鏡(諸如掃描電子顯微鏡(sem))的檢查系統(tǒng)。隨著ic部件的物理尺寸的不斷縮小，缺陷檢測(cè)的準(zhǔn)確性和產(chǎn)率變得越來(lái)越重要。諸如sem圖像之類的檢查圖像可用于標(biāo)識(shí)或分類已制造ic中的缺陷。為了提高缺陷檢測(cè)性能，期望一種能夠提高檢查系統(tǒng)吞吐量的檢查圖像增強(qiáng)技術(shù)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本文提供的實(shí)施例公開了一種粒子束檢查裝置，更特別地，公開了一種檢查圖像的同時(shí)聚焦和圖像對(duì)準(zhǔn)的檢查方法。
2、一些實(shí)施例提供了一種用于增強(qiáng)檢查圖像的方法。該方法包括：針對(duì)包含圖案的樣品區(qū)域，根據(jù)多個(gè)聚焦條件獲取多個(gè)檢查圖像；確定多個(gè)檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應(yīng)于確定檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)，使用檢查圖像進(jìn)行圖像對(duì)準(zhǔn)。
3、在一些實(shí)施例中，該方法包括：針對(duì)包含圖案的樣品的區(qū)域設(shè)置多個(gè)聚焦條件；根據(jù)多個(gè)聚焦條件獲取多個(gè)檢查圖像；確定多個(gè)檢查圖像中的每個(gè)檢查圖像的聚焦指數(shù)；標(biāo)識(shí)多個(gè)檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像；估計(jì)聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像的對(duì)準(zhǔn)參數(shù)；標(biāo)識(shí)多個(gè)檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)檢查圖像；選擇與被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的具有最大聚焦指數(shù)的檢查圖像相關(guān)聯(lián)的聚焦條件；以及基于估計(jì)的對(duì)準(zhǔn)參數(shù)和選擇的聚焦條件來(lái)執(zhí)行圖像對(duì)準(zhǔn)和聚焦校正。
4、在一些實(shí)施例中，提供了一種用于增強(qiáng)檢查圖像的裝置。該裝置包括：存儲(chǔ)指令集的存儲(chǔ)器；以及至少一個(gè)處理器，該至少一個(gè)處理器被配置為執(zhí)行指令集，以使得該裝置執(zhí)行：針對(duì)包含圖案的樣品的區(qū)域，根據(jù)多個(gè)聚焦條件獲取多個(gè)檢查圖像；確定多個(gè)檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應(yīng)于確定該檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)時(shí)，使用該檢查圖像執(zhí)行圖像對(duì)準(zhǔn)。
5、在一些實(shí)施例中，該裝置包括存儲(chǔ)指令集的存儲(chǔ)器，以及至少一個(gè)處理器，該至少一個(gè)處理器被配置為執(zhí)行該指令集以使得該裝置執(zhí)行：針對(duì)包含圖案的樣品區(qū)域設(shè)置多個(gè)聚焦條件；根據(jù)多個(gè)聚焦條件獲取多個(gè)檢查圖像；確定多個(gè)檢查圖像中的每個(gè)檢查圖像的聚焦指數(shù)；標(biāo)識(shí)多個(gè)檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像；估計(jì)聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像的對(duì)準(zhǔn)參數(shù)；標(biāo)識(shí)多個(gè)檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)檢查圖像；選擇與被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的具有最大聚焦指數(shù)的檢查圖像相關(guān)聯(lián)的聚焦條件；以及基于估計(jì)的對(duì)準(zhǔn)參數(shù)和選擇的聚焦條件來(lái)執(zhí)行圖像對(duì)準(zhǔn)和聚焦校正。
6、在一些實(shí)施例中，提供了一種非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，該非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括指令集，該指令集可由計(jì)算設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行，以使得該計(jì)算設(shè)備執(zhí)行一種用于增強(qiáng)檢查圖像的方法。該方法包括：針對(duì)包含圖案的樣品區(qū)域，根據(jù)多個(gè)聚焦條件獲取多個(gè)檢查圖像；確定多個(gè)檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應(yīng)于確定檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)，使用檢查圖像執(zhí)行圖像對(duì)準(zhǔn)。
7、在一些實(shí)施例中，非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)包括指令集，該指令集可由計(jì)算設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行，以使得計(jì)算設(shè)備執(zhí)行用于增強(qiáng)檢查圖像的方法，該方法包括：針對(duì)包含圖案的樣品的區(qū)域設(shè)置多個(gè)聚焦條件；根據(jù)多個(gè)聚焦條件獲取多個(gè)檢查圖像；確定多個(gè)檢查圖像中的每個(gè)檢查圖像的聚焦指數(shù)；標(biāo)識(shí)多個(gè)檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像；估計(jì)聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像的對(duì)準(zhǔn)參數(shù)；標(biāo)識(shí)多個(gè)檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)檢查圖像；選擇與被確定為在第二閾值范圍的具有最大聚焦指數(shù)的檢查圖像相關(guān)聯(lián)的聚焦條件；以及基于估計(jì)的對(duì)準(zhǔn)參數(shù)和選擇的聚焦條件執(zhí)行圖像對(duì)準(zhǔn)和聚焦校正。
8、通過結(jié)合附圖的以下描述，本公開的實(shí)施例的其他優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見，其中通過圖示和示例闡述了本發(fā)明的某些實(shí)施例。
1.一種用于增強(qiáng)檢查圖像的裝置，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述多個(gè)聚焦條件中的第一聚焦條件和第二聚焦條件分別設(shè)定第一焦點(diǎn)和第二焦點(diǎn)，并且所述第一焦點(diǎn)和所述第二焦點(diǎn)相對(duì)于樣品具有不同的相對(duì)位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述多個(gè)聚焦條件包括：物鏡的電流值、施加到工作臺(tái)的電壓偏置、或工作臺(tái)的豎直位置的變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中在使用所述檢查圖像執(zhí)行所述圖像對(duì)準(zhǔn)時(shí)，所述至少一個(gè)處理器被配置為執(zhí)行所述指令集，以使得所述裝置還執(zhí)行：
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述至少一個(gè)處理器被配置為執(zhí)行所述指令集，以使得所述裝置還執(zhí)行：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述第二閾值范圍比所述第一閾值范圍窄，并且所述第二閾值范圍被包括在所述第一閾值范圍內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中包含所述圖案的所述樣品的所述區(qū)域被選擇為包括獨(dú)特的樣品圖案、可辨別的圖案邊緣或視野。
8.一種非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，包括指令集，所述指令集能夠由計(jì)算設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行，以使得所述計(jì)算設(shè)備執(zhí)行用于增強(qiáng)檢查圖像的方法，所述方法包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中所述多個(gè)聚焦條件中的第一聚焦條件和第二聚焦條件分別設(shè)定第一焦點(diǎn)和第二焦點(diǎn)，并且所述第一焦點(diǎn)和所述第二焦點(diǎn)相對(duì)于樣品具有不同的相對(duì)位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中所述多個(gè)聚焦條件包括：物鏡的電流值、施加到工作臺(tái)的電壓偏置、或工作臺(tái)的豎直位置的變化。
11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中在使用所述檢查圖像執(zhí)行圖像對(duì)準(zhǔn)時(shí)，能夠由所述計(jì)算設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行的所述指令集使得所述計(jì)算設(shè)備還執(zhí)行：
12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中能夠由所述計(jì)算設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)處理器執(zhí)行的所述指令集使得所述計(jì)算設(shè)備還執(zhí)行：
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的非暫態(tài)計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其中所述第二閾值范圍比所述第一閾值范圍窄，并且所述第二閾值范圍被包括在所述第一閾值范圍內(nèi)。
14.一種用于增強(qiáng)檢查圖像的方法，包括：
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述多個(gè)聚焦條件中的第一聚焦條件和第二聚焦條件分別設(shè)定第一焦點(diǎn)和第二焦點(diǎn)，并且所述第一焦點(diǎn)和所述第二焦點(diǎn)相對(duì)于樣品具有不同的相對(duì)位置。