本發(fā)明涉及一種基板收納容器，所述基板收納容器包括控制氣體相對于容器主體的流通的閥門體。

背景技術(shù)：

1、收納基板的基板收納容器包括：容器主體、封閉容器主體的開口的蓋體以及控制氣體相對于容器主體的流通的閥門體。該閥門體具有止回閥(check?valve)功能，具有閥門體及開閉閥門體的金屬制的彈性構(gòu)件(例如，參照專利文獻1及專利文獻2)。

2、且說，基板收納容器為了以氣密狀態(tài)收納基板而從閥門體供給氣體，另外，經(jīng)由閥門體排出氣體，但在加工所收納的基板時，附著于基板的殘留物質(zhì)有時亦與供給的氣體一起被排出。因此，閥門體的金屬制的彈性構(gòu)件等有時會因殘留物質(zhì)而受到腐蝕。

3、因此，本發(fā)明者等人提出了不使用金屬制的構(gòu)件而使用了開閉氣體通路的彈性閥門體的閥門體(參照專利文獻3)。該閥門體具有閥開閉機構(gòu)，所述閥開閉機構(gòu)利用自身的彈性力關閉形成于彈性閥門體的閥開口，以超過彈性力的氣體的壓力開放。

4、專利文獻1：日本專利公開2008-066330號公報

5、專利文獻2：日本專利公開2004-179449號公報

6、專利文獻3：日本專利公開2020-088278號公報

7、然而，在專利文獻3所記載的閥門體中，存在如下?lián)鷳n：由于清洗時的熱應力或開閥狀態(tài)的經(jīng)過時間，閥開口未被充分關閉；或者在發(fā)揮止回閥功能時由于氣體的壓力，閥開口的邊緣部彼此密接，并且閥開口未呈直線狀地關閉，從而止回閥功能未發(fā)揮作用、或者在規(guī)定的壓力下未打開。例如，在利用板狀的閥構(gòu)件的彈性力對閥孔進行開閉的情況下，若閥構(gòu)件與閥座的接觸面在剖面視圖中呈直線狀，則封閉力有可能朝向前端側(cè)下降，此種可能性被列舉為原因之一。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、因此，本發(fā)明是鑒于以上課題而提出的，其目的在于提供一種基板收納容器，其包括提高了閥開閉動作的可靠性的閥門體。

2、(1)本發(fā)明的一形態(tài)是一種基板收納容器，其包括：容器主體，收納基板；蓋體，封閉所述容器主體的開口；以及閥門體，對氣體相對于所述容器主體的流通進行控制，所述基板收納容器中，所述閥門體具有：塊體構(gòu)件，形成有經(jīng)由閥孔使所述容器主體的外部與內(nèi)部連通的連通路；以及板狀的閥構(gòu)件，對所述閥孔進行開閉且能夠彈性變形，所述閥孔的周圍的閥座與所述閥構(gòu)件的密封面朝向氣體流通方向的下游側(cè)彎曲并接觸。

3、(2)在所述(1)的形態(tài)中，所述閥構(gòu)件可包括在無外力作用的狀態(tài)下沿著一個方向延伸的平面狀的密封面，所述閥構(gòu)件可在朝向氣體流通方向的下游側(cè)彎曲而彈性變形的狀態(tài)下以關閉所述閥孔的方式接觸。

4、(3)在所述(1)的形態(tài)中，所述閥構(gòu)件可包括在無外力作用的狀態(tài)下從鉛垂方向朝向氣體流通方向的上游側(cè)傾斜或彎曲的密封面，所述閥構(gòu)件可在朝向氣體流通方向的下游側(cè)彎曲而彈性變形的狀態(tài)下以關閉所述閥孔的方式接觸。

5、(4)在所述(1)至(3)中任一項所述的形態(tài)中，所述閥構(gòu)件可由板狀的密封構(gòu)件以及對所述密封構(gòu)件施力的彈性構(gòu)件形成。

6、(5)在所述(1)至(4)中任一項所述的形態(tài)中，所述連通路可具有在所述閥孔的上游側(cè)沿鉛垂方向延伸的流入路，所述流入路包括以在沿鉛垂方向流入的流體碰撞時不將流體向所述閥孔引導的方式傾斜的端壁。

7、(6)在所述(1)至(5)中任一項所述的形態(tài)中，所述閥門體可對氣體從所述容器主體的內(nèi)部朝向外部的流通進行控制。

8、(7)在所述(1)至(5)中任一項所述的形態(tài)中，所述閥門體可對氣體從所述容器主體的外部朝向內(nèi)部的流通進行控制。

9、(8)在所述(1)至(7)中任一項所述的形態(tài)中，所述閥門體可具有過濾所述氣體的過濾器。

10、(9)在所述(1)至(8)中任一項所述的形態(tài)中，所述連通路可具有在所述閥孔的下游側(cè)延伸的流出路，所述流出路包括從所述閥孔側(cè)向與鉛垂方向交叉的方向延伸的檐，以供通過所述閥孔的流體碰撞。

11、(10)在所述(1)至(9)中任一項所述的形態(tài)中，所述塊體構(gòu)件可具有：形成有所述閥孔的閥固定器以及與所述閥固定器之間夾持所述閥構(gòu)件的閥蓋。

12、根據(jù)本發(fā)明，可提供一種包括提高了閥開閉動作的可靠性的閥門體的基板收納容器。

技術(shù)特征：

1.一種基板收納容器，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板收納容器，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板收納容器，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板收納容器，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種包括提高閥開閉動作的可靠性的閥門體的基板收納容器。一種基板收納容器，包括：容器主體，收納基板；蓋體，封閉容器主體的開口；以及閥門體(40)，控制氣體相對于容器主體的流通，所述基板收納容器中，閥門體(40)具有：塊體構(gòu)件(41)，形成有經(jīng)由閥孔(466)使容器主體的外部與內(nèi)部連通的連通路(416、417)；以及板狀的閥構(gòu)件(45)，對閥孔(466)進行開閉且能夠彈性變形，閥孔(466)的周圍的閥座(467)與閥構(gòu)件(45)的密封面(452a)朝向氣體流通方向的下游側(cè)彎曲并接觸。

技術(shù)研發(fā)人員：小川統(tǒng),冨永公德
受保護的技術(shù)使用者：信越聚合物株式會社
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/29