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彈性波裝置的制作方法

文檔序號:42031819發(fā)布日期:2025-05-30 17:20閱讀:5來源:國知局

本發(fā)明涉及具有多個彈性波諧振器的彈性波裝置。


背景技術(shù):

1、以往,彈性波裝置被廣泛用于便攜式電話的濾波器等。近年來,提出了像在下述的專利文獻(xiàn)1記載的那樣的使用了厚度剪切模式的體波的彈性波裝置。在該彈性波裝置中,在支承體上設(shè)置有壓電層。在壓電層上設(shè)置有成對的電極。成對的電極在壓電層上相互對置,并且與相互不同的電位連接。通過在上述電極間施加交流電壓,從而激勵厚度剪切模式的體波。

2、在先技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1:美國專利第10491192號說明書


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問題

2、所謂彈性波裝置,例如是彈性波諧振器等彈性波諧振器。彈性波諧振器例如用于梯型濾波器。為了在梯型濾波器中得到良好的特性,需要在多個彈性波諧振器間增大靜電電容比。在該情況下,需要增大梯型濾波器中的一部分的彈性波諧振器的靜電電容。

3、為了增大彈性波諧振器的靜電電容,例如,需要使彈性波諧振器變得大型。因而,在將該彈性波諧振器用于梯型濾波器的情況下,梯型濾波器往往變得大型。特別是,具有靜電電容小的利用厚度剪切模式的體波的彈性波諧振器的梯型濾波器會大型化。

4、本發(fā)明的發(fā)明人們發(fā)現(xiàn),通過將彈性波諧振器的結(jié)構(gòu)設(shè)為以下的結(jié)構(gòu),從而在將彈性波諧振器用于濾波器裝置的情況下,可在不大型化的情況下得到適當(dāng)?shù)臑V波器波形。該結(jié)構(gòu)是如下的結(jié)構(gòu),即,在連接于輸入電位的電極與連接于輸出電位的電極之間配置連接于基準(zhǔn)電位等與輸入電位以及輸出電位不同的電位的電極。

5、除此以外,本發(fā)明的發(fā)明人們還發(fā)現(xiàn),只是采用上述結(jié)構(gòu),仍有可能無法充分提高耐功率性。

6、本發(fā)明的目的在于,提供一種能夠推進(jìn)濾波器裝置的小型化并且能夠提高耐功率性的彈性波裝置。

7、用于解決問題的技術(shù)方案

8、在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的某個寬泛的方面中,具備:

9、第1彈性波諧振器;以及

10、第2彈性波諧振器,

11、所述第1彈性波諧振器以及所述第2彈性波諧振器分別具有壓電膜、與輸入電位連接的第1梳形電極、與輸出電位連接的第2梳形電極、以及與基準(zhǔn)電位連接的第3電極,

12、所述壓電膜包含壓電層,所述壓電層包含鈮酸鋰,

13、所述第1梳形電極設(shè)置在所述壓電層上,具有第1匯流條和多個第1電極指,所述多個第1電極指的一端分別與所述第1匯流條連接,

14、所述第2梳形電極設(shè)置在所述壓電層上,具有第2匯流條和多個第2電極指,所述多個第2電極指的一端分別與所述第2匯流條連接,所述多個第2電極指與所述多個第1電極指相互交錯對插,

15、所述第3電極具有多個第3電極指和將相鄰的所述第3電極指彼此連接的連接電極,所述第3電極指分別在所述壓電層上設(shè)置為在俯視時在所述第1電極指以及所述第2電極指排列的方向上與所述第1電極指以及所述第2電極指排列,

16、在所述第1彈性波諧振器以及所述第2彈性波諧振器各自中,在俯視時,所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指排列的順序在從所述第1電極指開始的情況下是將所述第1電極指、所述第3電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指作為一個周期的順序,

17、所述第1彈性波諧振器以及所述第2彈性波諧振器分別是將一個彈性波諧振器進(jìn)行了串聯(lián)分割的分割諧振器。

18、在本發(fā)明涉及的彈性波裝置的另一個寬泛的方面中,具備:

19、第1彈性波諧振器;以及

20、第2彈性波諧振器,

21、所述第1彈性波諧振器以及所述第2彈性波諧振器分別具有壓電膜、與輸入電位連接的第1梳形電極、與輸出電位連接的第2梳形電極、以及與基準(zhǔn)電位連接的第3電極,

22、所述壓電膜包含壓電層,所述壓電層包含鈮酸鋰,

23、所述第1梳形電極設(shè)置在所述壓電層上,具有第1匯流條和多個第1電極指,所述多個第1電極指的一端分別與所述第1匯流條連接,

24、所述第2梳形電極設(shè)置在所述壓電層上,具有第2匯流條和多個第2電極指,所述多個第2電極指的一端分別與所述第2匯流條連接,所述多個第2電極指與所述多個第1電極指相互交錯對插,

25、所述第3電極具有多個第3電極指和將相鄰的所述第3電極指彼此連接的連接電極,所述第3電極指分別在所述壓電層上設(shè)置為在俯視時在所述第1電極指以及所述第2電極指排列的方向上與所述第1電極指以及所述第2電極指排列,

26、在所述第1彈性波諧振器以及所述第2彈性波諧振器各自中,在俯視時,所述第1電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指排列的順序在從所述第1電極指開始的情況下是將所述第1電極指、所述第3電極指、所述第2電極指以及所述第3電極指作為一個周期的順序,

27、所述第1彈性波諧振器以及所述第2彈性波諧振器分別是將一個彈性波諧振器進(jìn)行了并聯(lián)分割的分割諧振器。

28、發(fā)明效果

29、根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種能夠推進(jìn)濾波器裝置的小型化并且能夠提高耐功率性的彈性波裝置。



技術(shù)特征:

1.一種彈性波裝置,具備:

2.一種彈性波裝置,具備:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的彈性波裝置,其中,

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的彈性波裝置,其中,

5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

6.根據(jù)權(quán)利要求1~5中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

11.根據(jù)權(quán)利要求1~10中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

12.根據(jù)權(quán)利要求1~11中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

13.根據(jù)權(quán)利要求1~11中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

14.根據(jù)權(quán)利要求1~11中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的彈性波裝置,其中,

16.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的彈性波裝置,其中,

17.根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的彈性波裝置,其中,

18.根據(jù)權(quán)利要求14~17中的任一項所述的彈性波裝置,其中,

19.根據(jù)權(quán)利要求1~18中的任一項所述的彈性波裝置,其中,


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種能夠推進(jìn)濾波器裝置的小型化并且能夠提高耐功率性的彈性波裝置。本發(fā)明涉及的彈性波裝置(10)具備第1彈性波諧振器(10A)和第2彈性波諧振器(10B)。第1彈性波諧振器(10A)以及第2彈性波諧振器(10B)分別具有:壓電膜,包含壓電層(14),壓電層(14)包含鈮酸鋰;第1梳形電極(第1梳形電極、第4梳形電極),設(shè)置在壓電層(14)上,具有第1匯流條(第1匯流條(22)、第4匯流條(32))和一端分別與第1匯流條連接的多個第1電極指(多個第1電極指(25)、第4電極指(35)),與輸入電位連接;第2梳形電極(第2梳形電極、第5梳形電極),設(shè)置在壓電層(14)上,具有第2匯流條(第2匯流條(23)、第5匯流條(33))和一端分別與第2匯流條連接并與多個第1電極指(多個第1電極指(25)、第4電極指(35))相互交錯對插的多個第2電極指(多個第2電極指(26)、第5電極指(36)),與輸出電位連接;以及第3電極,具有分別在壓電層(14)上設(shè)置為在俯視時在第1電極指以及第2電極指排列的方向上與第1電極指以及第2電極指排列的多個第3電極指(多個第3電極指(27)、第6電極指(37))和將相鄰的第3電極指彼此連接的連接電極(第3匯流條(24)、第6匯流條(34)),與基準(zhǔn)電位連接。在第1彈性波諧振器(10A)以及第2彈性波諧振器(10B)各自中,在俯視時,第1電極指、第2電極指以及第3電極指排列的順序在從第1電極指開始的情況下是將第1電極指、第3電極指、第2電極指以及第3電極指作為一個周期的順序。第1彈性波諧振器(10A)以及第2彈性波諧振器(10B)分別是將一個彈性波諧振器進(jìn)行了串聯(lián)分割的分割諧振器。

技術(shù)研發(fā)人員:大門克也,永友翔
受保護(hù)的技術(shù)使用者:株式會社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/29
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