本發(fā)明涉及研磨，特別是涉及一種研磨工具及其制備方法。
背景技術(shù)：
1、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對電子元件表面的平整度和精度的要求越來越高。在電子元件加工過程中，通常采用研磨盤對電子元件表面進行處理，研磨盤的性能影響著電子元件表面的平整度和精度，而研磨盤的材質(zhì)對其性能起到關(guān)鍵作用。目前，研磨盤的種類例如有鑄鐵、錫盤、金剛石等，存在的問題有易生銹、易磨損、壽命短、成本高等問題。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明實施例針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種研磨工具，以所述研磨工具的總質(zhì)量為100％計，所述研磨工具包括以下組分：
2、al2o3：62％～83％，
3、sio2：5％～8％，
4、cr2o3：0.5％～1.8％，
5、tio2：1％～1.45％，
6、mno：1.51％～1.75％，
7、zro2：1.6％～3.4％，
8、zno：2％～2.8％，
9、助溶劑：2％～6％。
10、作為優(yōu)選方案，所述助溶劑為alf3或者caf2。
11、為了解決相同的技術(shù)問題，本發(fā)明實施例還提供一種所述的研磨工具的制備方法，包括：
12、將所述組分加工為粉狀顆粒；
13、將所述粉狀顆粒和水進行混合，形成泥狀物；
14、在所述泥狀物中加入粘接劑，形成混合物；
15、將所述混合物壓制成型，形成壓制體；
16、將所述壓制體進行燒結(jié)，得到研磨工具。
17、作為優(yōu)選方案，所述粉狀顆粒的直徑為0～50um。
18、作為優(yōu)選方案，所述將所述粉狀顆粒和水進行混合，形成泥狀物，具體包括：
19、將所述粉狀顆粒和水按照1：0.5的比例進行攪拌混合，形成泥狀物。
20、作為優(yōu)選方案，所述在所述泥狀物中加入粘接劑，形成混合物，具體包括：
21、在所述泥狀物中加入聚乙烯醇，形成混合物，其中，聚乙烯醇的重量為所述泥狀物的重量的0.3％～0.5％。
22、作為優(yōu)選方案，在所述步驟將所述混合物壓制成型，形成壓制體中，壓力參數(shù)為200～300mpa，時間為10～15min。
23、作為優(yōu)選方案，在所述步驟將所述壓制體進行燒結(jié)，得到研磨工具中，溫度為1000～1200℃，燒結(jié)時間為2小時。
24、作為優(yōu)選方案，在所述將所述壓制體進行燒結(jié)，得到研磨工具之后，還包括：
25、對所述研磨工具的研磨面進行第一次粗糙度檢測，得到第一粗糙度檢測結(jié)果；
26、基于所述第一粗糙度檢測結(jié)果，對所述研磨工具的研磨面進行預(yù)修整操作，并在預(yù)修整操作過程中記錄所述研磨工具的研磨面的各個區(qū)域的壓力，得到第一壓力檢測結(jié)果；
27、對所述研磨工具的研磨面進行第二次粗糙度檢測，得到第二粗糙度檢測結(jié)果；
28、基于所述第一粗糙度檢測結(jié)果、所述第一壓力檢測結(jié)果和所述第二粗糙度檢測結(jié)果，對所述研磨工具的研磨面進行修整操作，并在修整操作過程中記錄所述研磨工具的研磨面的各個區(qū)域的壓力，得到第二壓力檢測結(jié)果；
29、對所述研磨工具的研磨面進行第三次粗糙度檢測，得到第三粗糙度檢測結(jié)果；
30、在所述第二壓力檢測結(jié)果和所述第三粗糙度檢測結(jié)果不符合修整合格條件時，返回所述對所述研磨工具的研磨面進行第一次粗糙度檢測，得到第一粗糙度檢測結(jié)果步驟，直到所述第二壓力檢測結(jié)果和所述第三粗糙度檢測結(jié)果符合修整合格條件為止。
31、作為優(yōu)選方案，所述修整合格條件，具體包括：
32、對所述第二壓力檢測結(jié)果中所述研磨工具的研磨面的各個區(qū)域之間的壓力差值求和；
33、當(dāng)所述第二壓力檢測結(jié)果中所述研磨工具的研磨面的各個區(qū)域之間的壓力差值的和小于預(yù)設(shè)的壓力閾值，且所述第三粗糙度檢測結(jié)果滿足研磨工具的研磨面的粗糙度要求，則判定所述第二壓力檢測結(jié)果和所述第三粗糙度檢測結(jié)果符合修整合格條件。
34、相比于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明實施例的有益效果在于：本發(fā)明實施例提供一種研磨工具及其制備方法，以所述研磨工具的總質(zhì)量為100％計，所述研磨工具包括以下組分：al2o3：62％～83％，sio2：5％～8％，cr2o3：0.5％～1.8％，tio2：1％～1.45％，mno：1.51％～1.75％，zro2：1.6％～3.4％，zno：2％～2.8％和助溶劑：2％～6％，所述研磨工具具有耐高溫、耐磨、硬度高、無毒副作用等優(yōu)良性能。
1.一種研磨工具，其特征在于，以所述研磨工具的總質(zhì)量為100％計，所述研磨工具包括以下組分：
2.如權(quán)利要求1所述的研磨工具，其特征在于，所述助溶劑為alf3或者caf2。
3.一種如權(quán)利要求1或2所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，包括：
4.如權(quán)利要求3所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，所述粉狀顆粒的直徑為0～50um。
5.如權(quán)利要求3所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，所述將所述粉狀顆粒和水進行混合，形成泥狀物，具體包括：
6.如權(quán)利要求3所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，所述在所述泥狀物中加入粘接劑，形成混合物，具體包括：
7.如權(quán)利要求3所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，在所述步驟將所述混合物壓制成型，形成壓制體中，壓力參數(shù)為200～300mpa，時間為10～15min。
8.如權(quán)利要求3所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，在所述步驟將所述壓制體進行燒結(jié)，得到研磨工具中，溫度為1000～1200℃，燒結(jié)時間為2小時。
9.如權(quán)利要求3-8任一項所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，在所述將所述壓制體進行燒結(jié)，得到研磨工具之后，還包括：
10.如權(quán)利要求9所述的研磨工具的制備方法，其特征在于，所述修整合格條件，具體包括：