本說(shuō)明書公開(kāi)一種制造將接合材轉(zhuǎn)印至芯片而成的接合體的接合體制造裝置及接合體制造方法。
背景技術(shù):
1、近年來(lái),為了將芯片接合至電路基板,提出了利用使用了銀(ag)等金屬的納米粒子或微粒子的燒結(jié)接合。為了能夠進(jìn)行所述燒結(jié)接合,提出了在芯片的下表面預(yù)先轉(zhuǎn)印包含燒結(jié)材的接合材。
2、例如,在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了一種將接合材(在專利文獻(xiàn)1中稱為“燒結(jié)膜”)轉(zhuǎn)印至芯片的技術(shù)。在專利文獻(xiàn)1中,在使芯片與接合材接觸的狀態(tài)下,通過(guò)對(duì)芯片進(jìn)行加壓及加熱,而將接合材轉(zhuǎn)印至芯片。
3、[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]
4、[專利文獻(xiàn)]
5、[專利文獻(xiàn)1]日本專利特開(kāi)2020-056110號(hào)公報(bào)
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、[發(fā)明所要解決的問(wèn)題]
2、然而,在芯片與接合材的接合弱的情況下,在接合處理后使芯片上升時(shí),有接合材的一部分從芯片剝離的擔(dān)憂。換言之,有轉(zhuǎn)印至芯片的接合材的一部分缺失的擔(dān)憂。
3、因此,在本說(shuō)明書中,公開(kāi)了一種可將接合材更良好地轉(zhuǎn)印至芯片的接合體制造裝置及接合體制造方法。
4、[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]
5、本說(shuō)明書中公開(kāi)的接合體制造裝置包括:載臺(tái),載置有釋放片與接合材層疊而成的轉(zhuǎn)印片,并且對(duì)所述轉(zhuǎn)印片進(jìn)行抽吸保持;工具頭,具有對(duì)芯片進(jìn)行保持的工具;以及控制器,所述控制器構(gòu)成為,使所述工具相對(duì)于所述轉(zhuǎn)印片相對(duì)移動(dòng)并使所保持的所述芯片接觸至所述接合材而接合后,使所述工具從所述釋放片分離,與所述工具的分離聯(lián)動(dòng)地調(diào)整基于所述載臺(tái)的所述轉(zhuǎn)印片的抽吸力或所述轉(zhuǎn)印片的張力。
6、在所述情況下可為:所述控制器構(gòu)成為,在所述工具接觸至所述接合材后,在解除了基于所述載臺(tái)的所述轉(zhuǎn)印片的抽吸的狀態(tài)下,使所述工具連同所述芯片一起上升,然后,使所述轉(zhuǎn)印片的抽吸重新開(kāi)始。
7、另外,可為:所述控制器在所述芯片達(dá)到規(guī)定的重新開(kāi)始高度的時(shí)間點(diǎn),使基于所述載臺(tái)的抽吸重新開(kāi)始。
8、在所述情況下可為:所述重新開(kāi)始高度是根據(jù)所述芯片的種類、及轉(zhuǎn)印至所述芯片的轉(zhuǎn)印區(qū)域在所述轉(zhuǎn)印片內(nèi)的位置中的至少一者而變化的可變值。
9、另外,可為:所述載臺(tái)能夠部分地切換所述轉(zhuǎn)印片的抽吸狀態(tài),所述控制器構(gòu)成為,在所述接合材的接合后,僅在距轉(zhuǎn)印至所述芯片的轉(zhuǎn)印區(qū)域?yàn)橐欢ǚ秶鷥?nèi)解除所述轉(zhuǎn)印片的抽吸。
10、另外,可為:所述工具頭具有對(duì)所述芯片施加超聲波振動(dòng)的振動(dòng)源,所述控制器還構(gòu)成為,在將所述芯片推抵至所述接合材的時(shí)間點(diǎn),對(duì)所述芯片施加超聲波振動(dòng)。
11、本說(shuō)明書中公開(kāi)的接合體的制造方法,利用載臺(tái)對(duì)釋放片與接合材層疊而成的轉(zhuǎn)印片進(jìn)行抽吸保持,使保持有芯片的狀態(tài)下的工具移動(dòng),以將所述芯片推抵至所述接合材,由此,使所述接合材與所述芯片接合,與所述工具的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)地切換基于所述載臺(tái)的所述轉(zhuǎn)印片的抽吸及抽吸解除。
12、[發(fā)明的效果]
13、根據(jù)本說(shuō)明書中公開(kāi)的技術(shù),與工具進(jìn)而芯片的移動(dòng)聯(lián)動(dòng)地切換轉(zhuǎn)印片的抽吸及抽吸解除,因此可防止對(duì)接合于芯片的接合材施加過(guò)剩的力。結(jié)果,可有效果地防止接合材的缺口,將接合材更良好地轉(zhuǎn)印至芯片。
1.一種接合體制造裝置,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的接合體制造裝置,其特征在于,
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的接合體制造裝置,其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的接合體制造裝置,其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的接合體制造裝置,其特征在于,
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的接合體制造裝置,其特征在于,
7.一種接合體制造方法,為接合體的制造方法,其特征在于,