本發(fā)明涉及半導(dǎo)體，具體涉及一種定位方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)。
背景技術(shù)：
1、在半導(dǎo)體制造和檢測領(lǐng)域，晶圓的圓心和邊緣定位是一個關(guān)鍵步驟，為后續(xù)其他檢測過程提供位置參考。傳統(tǒng)的晶圓定位技術(shù)通常依賴于光學(xué)對準(zhǔn)方法，通過攝像頭或激光傳感器捕捉晶圓的邊緣圖像，利用圖像處理算法計算晶圓的圓心和半徑以完成定位。雖然能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式測量，但在實(shí)際應(yīng)用中，光學(xué)傳感器容易受到環(huán)境光、晶圓表面反射和灰塵等因素的干擾，導(dǎo)致邊緣檢測不準(zhǔn)確，同時傳統(tǒng)的圖像處理算法在處理高分辨率圖像時，計算量較大，難以滿足實(shí)時性要求。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請的技術(shù)方案在于提供一種定位方法、系統(tǒng)及存儲介質(zhì)，用于解決現(xiàn)有技術(shù)存在晶圓定位的準(zhǔn)確性和實(shí)時性不足的問題。
2、本申請?zhí)峁┮环N定位方法，待定位的樣品包括預(yù)設(shè)定位區(qū)域，所述定位方法包括：獲取所述樣品繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中的多組測量數(shù)據(jù)，其中，每組測量數(shù)據(jù)包括所述定位區(qū)域與基準(zhǔn)點(diǎn)沿預(yù)設(shè)方向的測量距離、以及所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度；從多組所述測量數(shù)據(jù)中確定至少部分測量數(shù)據(jù)，作為擬合數(shù)據(jù)；根據(jù)所述擬合數(shù)據(jù)，利用預(yù)設(shè)擬合函數(shù)對所述測量距離和所述旋轉(zhuǎn)角度之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系進(jìn)行擬合，以獲取所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系。
3、本申請還提供一種定位系統(tǒng)，用于定位樣品的基準(zhǔn)點(diǎn)和旋轉(zhuǎn)軸，其中，所述樣品包括預(yù)設(shè)定位區(qū)域，所述基準(zhǔn)點(diǎn)和所述旋轉(zhuǎn)軸對應(yīng)設(shè)置；處理器，并被配置為：獲取所述樣品繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中的多組測量數(shù)據(jù)，其中，每組測量數(shù)據(jù)包括所述定位區(qū)域與基準(zhǔn)點(diǎn)沿預(yù)設(shè)方向的測量距離、以及所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度；從多組所述測量數(shù)據(jù)中確定至少部分測量數(shù)據(jù)，作為擬合數(shù)據(jù)；根據(jù)所述擬合數(shù)據(jù)，利用預(yù)設(shè)擬合函數(shù)對所述測量距離和所述旋轉(zhuǎn)角度之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系進(jìn)行擬合，以獲取所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系。
4、本申請還提供一種計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，所述計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)上存儲計算機(jī)程序，所述計算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時實(shí)現(xiàn)如上所述的定位方法的步驟。
5、本發(fā)明技術(shù)方案具有以下有益效果。
6、本發(fā)明技術(shù)方案提供的發(fā)明中，通過獲取所述樣品繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中的多組測量數(shù)據(jù)，其中，每組測量數(shù)據(jù)包括所述定位區(qū)域與基準(zhǔn)點(diǎn)沿預(yù)設(shè)方向的測量距離、以及所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度；從多組所述測量數(shù)據(jù)中確定至少部分測量數(shù)據(jù)，作為擬合數(shù)據(jù)；根據(jù)所述擬合數(shù)據(jù)，利用預(yù)設(shè)擬合函數(shù)對所述測量距離和所述旋轉(zhuǎn)角度之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系進(jìn)行擬合，以獲取所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系。通過非圖像處理的方式提升樣品檢測的準(zhǔn)確性和實(shí)時性。
1.一種定位方法，其特征在于，待定位的樣品包括預(yù)設(shè)定位區(qū)域，所述定位方法包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的定位方法，其特征在于，從多組所述測量數(shù)據(jù)中確定至少部分測量數(shù)據(jù)，作為擬合數(shù)據(jù)，包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)擬合函數(shù)還包括預(yù)設(shè)參量和待擬合參量，所述待擬合參量包括所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的定位方法，其特征在于，所述位置關(guān)系包括所述中心起始位置；所述擬合函數(shù)的擬合關(guān)系為：所述測量距離等于待測交點(diǎn)與所述基準(zhǔn)點(diǎn)之間的距離，所述待測交點(diǎn)為所述樣品中心繞所述旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時所述定位區(qū)域與所述預(yù)設(shè)方向的交點(diǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的定位方法，其特征在于，所述樣品為圓形；
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的定位方法，其特征在于，所述樣品為圓形；
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的定位方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)方向與所述基準(zhǔn)點(diǎn)和所述旋轉(zhuǎn)軸之間連線的方向相同，所述預(yù)設(shè)參量包括:所述樣品尺寸、所述預(yù)設(shè)方向的斜率和所述基準(zhǔn)點(diǎn)的位置信息；所述預(yù)設(shè)方向斜率為1,所述旋轉(zhuǎn)軸位置或所述基準(zhǔn)點(diǎn)位置為原點(diǎn)位置。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的定位方法，其特征在于，所述待擬合參量還包括樣品尺寸、所述預(yù)設(shè)方向的斜率、所述基準(zhǔn)點(diǎn)的位置信息、所述旋轉(zhuǎn)軸的位置信息中的一者或多者組合；
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的定位方法，其特征在于，所述位置關(guān)系還包括所述偏心距離；
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的定位方法，其特征在于，所述擬合函數(shù)的滿足：
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的定位方法，其特征在于，?所述樣品為圓形；
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的定位方法，其特征在于，
13.根據(jù)權(quán)利要求4-6、9-11中任一項所述的定位方法，其特征在于，根據(jù)所述擬合數(shù)據(jù)，利用預(yù)設(shè)擬合函數(shù)對所述測量距離和所述旋轉(zhuǎn)角度之間的關(guān)聯(lián)關(guān)系進(jìn)行擬合，以獲取所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系，包括：
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的定位方法，其特征在于，若所述待擬合參數(shù)量僅包括所述中心起始位置和偏心距離中的至少一者，根據(jù)所述待擬合參量的最優(yōu)化結(jié)果，獲取所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系之后，還包括：
15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的定位方法，其特征在于，若所述待擬合參量還包括所述樣品尺寸，在根據(jù)所述待擬合參量的最優(yōu)化結(jié)果，獲取所述樣品相對于所述旋轉(zhuǎn)軸的位置關(guān)系之后，還包括：
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的定位方法，其特征在于，所述定位區(qū)域為樣品邊緣、或者所述定位區(qū)域為所述樣品上的標(biāo)識區(qū)域，所述標(biāo)識區(qū)域與所述樣品邊緣呈等比例縮放、且與所述樣品邊緣具有相同的所述樣品中心。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的定位方法，其特征在于，獲取所述樣品繞旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中的多組測量數(shù)據(jù)，包括：使所述樣品繞所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，并在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中通過測量裝置多次獲取所述測量距離，所述預(yù)設(shè)方向為所述測量裝置的測量方向；或者，使測量裝置繞所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，并在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中通過所述測量裝置多次獲取所述測量距離，所述預(yù)設(shè)方向為所述測量裝置的測量方向。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的定位方法，其特征在于，使測量裝置繞所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，并在旋轉(zhuǎn)運(yùn)動過程中通過所述測量裝置多次獲取所述測量距離，包括：
19.一種定位系統(tǒng)，其特征在于，所述定位系統(tǒng)包括：
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的定位系統(tǒng)，所述定位系統(tǒng)還包括設(shè)置于所述基準(zhǔn)點(diǎn)的測量裝置，所述測量裝置包括激光測距儀、干涉儀和色散共聚焦儀。
21.一種計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)，其特征在于，所述計算機(jī)可讀存儲介質(zhì)存儲有計算機(jī)程序，所述計算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-18中任一項所述的定位方法。