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多層互連線路板加工方法、系統(tǒng)、設(shè)備、程序產(chǎn)品及工件與流程

文檔序號(hào):42167642發(fā)布日期:2025-06-13 16:22閱讀:6來(lái)源:國(guó)知局

本技術(shù)涉及線路板加工,特別是涉及一種多層互連線路板加工方法、系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)設(shè)備、計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品及工件。


背景技術(shù):

1、多層互連結(jié)構(gòu)是線路板中實(shí)現(xiàn)不同電路層之間電氣連接的關(guān)鍵技術(shù)。多層互連結(jié)構(gòu)通過(guò)精確的導(dǎo)電通孔和線路設(shè)計(jì),確保信號(hào)在不同層間高效傳輸,是現(xiàn)代高密度線路板設(shè)計(jì)的核心要素。

2、傳統(tǒng)技術(shù)中,主要通過(guò)逐層堆疊和對(duì)準(zhǔn)加工的方式加工多層線路板。也即,按照從靠近芯板從內(nèi)往外的方向逐層對(duì)準(zhǔn)加工各內(nèi)層線路和外層線路,然而,這種方法高度依賴于對(duì)準(zhǔn)加工時(shí)的精度和準(zhǔn)確度。隨著線路板層數(shù)的增加,產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)偏差的概率更高,同時(shí)隨著互連密度的提升,微孔結(jié)構(gòu)的尺寸不斷減小,微孔結(jié)構(gòu)的尺寸越小,對(duì)準(zhǔn)精度要求更高,也更容易產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)偏差。而任何微小的對(duì)準(zhǔn)偏差都可能導(dǎo)致短路或斷路,嚴(yán)重影響線路板的可靠性。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此,有必要針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題,提供一種能夠提高線路板可靠性的多層互連線路板加工方法、系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)設(shè)備、計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品及工件。

2、第一方面,本技術(shù)提供了一種多層互連線路板加工方法,該方法包括:

3、獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息,其中,線路結(jié)構(gòu)信息包括線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;

4、控制激光加工設(shè)備,基于各線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,其中,至少一個(gè)線路板塊中具有多層互連結(jié)構(gòu),多層互連結(jié)構(gòu)基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息一次成型得到;

5、控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板。

6、在其中一個(gè)實(shí)施例中,獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息之前,還包括:

7、獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)整體信息,其中,線路結(jié)構(gòu)整體信息包括多層互連結(jié)構(gòu)的初始互連結(jié)構(gòu)信息;

8、基于初始互連結(jié)構(gòu)信息,將線路結(jié)構(gòu)整體信息劃分為線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,其中,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息包含初始互連結(jié)構(gòu)信息的全部或部分信息。

9、在其中一個(gè)實(shí)施例中,初始互連結(jié)構(gòu)信息中包含有初始互連結(jié)構(gòu)的層數(shù)信息;基于初始互連結(jié)構(gòu)信息,將線路結(jié)構(gòu)整體信息劃分為線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,包括:

10、在基于初始互連結(jié)構(gòu)的層數(shù)信息,確定初始互連結(jié)構(gòu)的層數(shù)超過(guò)預(yù)設(shè)層數(shù)閾值的情況下,將初始互連結(jié)構(gòu)信息劃分為多個(gè)目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,其中,目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息中包含有初始互連結(jié)構(gòu)中部分層的信息;

11、基于各目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,將線路結(jié)構(gòu)整體信息劃分為線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,以使得各目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息分別劃分至不同的線路板塊加工信息中。

12、在其中一個(gè)實(shí)施例中,線路板塊加工信息包括子線路層信息以及目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;在控制激光加工設(shè)備,基于線路板塊加工信息,加工線路板塊的過(guò)程中,該方法還包括:

13、控制拼接裝置,根據(jù)子線路層信息制作中間板塊;

14、控制激光加工設(shè)備,基于所述目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,在所述中間板塊上加工多層互連結(jié)構(gòu),得到線路板塊。

15、在其中一個(gè)實(shí)施例中,子線路層信息包括導(dǎo)電線路信息;在控制拼接裝置,根據(jù)子線路層信息制作中間板塊之前,該方法還包括:

16、控制導(dǎo)電線路加工設(shè)備,基于導(dǎo)電線路信息,在多個(gè)絕緣基板上加工導(dǎo)電線路,得到多個(gè)子線路層。

17、在其中一個(gè)實(shí)施例中,多層互連線路板包括多層互連結(jié)構(gòu);多層互連結(jié)構(gòu)包括第一互連結(jié)構(gòu)和第二互連結(jié)構(gòu),第一互連結(jié)構(gòu)包括在第一方向上的第一開(kāi)口,以及在第二方向上的第二開(kāi)口,第二互連結(jié)構(gòu)包括在第一方向上的第三開(kāi)口,以及在第二方向上的第四開(kāi)口,第一開(kāi)口和第三開(kāi)口位于不同層,且第二開(kāi)口和第四開(kāi)口位于不同層;目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息包括第一互連結(jié)構(gòu)的目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息和第二互連結(jié)構(gòu)的目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;

18、在控制拼接裝置,根據(jù)子線路層信息制作中間板塊的過(guò)程中,該方法還包括:

19、控制拼接裝置,將第一互連結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)的各個(gè)子線路層堆疊形成初始板塊;

20、控制激光加工設(shè)備,基于第一互連結(jié)構(gòu)的目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,在初始板塊上加工第一互連結(jié)構(gòu);

21、控制拼接裝置,將加工有第一互連結(jié)構(gòu)的初始板塊與其他子線路層壓合形成中間板塊;

22、控制激光加工設(shè)備,基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,在中間板塊上加工多層互連結(jié)構(gòu),得到線路板塊,包括:

23、控制激光加工設(shè)備,基于第二互連結(jié)構(gòu)的目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,在中間板塊上加工第二互連結(jié)構(gòu),得到線路板塊。

24、在其中一個(gè)實(shí)施例中,控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板,包括:

25、基于線路板塊拼接信息,對(duì)至少一個(gè)線路板塊進(jìn)行方向變換;

26、將方向變換后的各線路板塊拼接成多層互連線路板。

27、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述控制激光加工設(shè)備,基于各所述線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,包括:

28、控制激光加工設(shè)備發(fā)射高能量短脈沖激光束,其中,所述激光加工設(shè)備被配置為基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,控制所述高能量短脈沖激光束在所述線路板塊上一次成型多層互連結(jié)構(gòu)。

29、在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述高能量短脈沖激光束為高斯激光束或平頂激光束。

30、在其中一個(gè)實(shí)施例中,在所述高能量短脈沖激光束為高斯激光束的情況下,所述激光加工設(shè)備還包括光束整形組件,所述光束整形組件部署于所述高斯激光束的光路上,用于將所述高斯激光束整形為平頂激光束。

31、在其中一個(gè)實(shí)施例中,短脈沖激光束的波長(zhǎng)為綠光波段至紅外波段。

32、第二方面,本技術(shù)還提供了一種多層互連線路板加工系統(tǒng),系統(tǒng)包括控制器、激光加工設(shè)備和拼接裝置,其中:

33、激光加工設(shè)備,被配置為加工線路板塊;

34、拼接裝置,被配置為將各線路板塊拼接成多層互連線路板;

35、控制器,被配置為:

36、獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息,其中,線路結(jié)構(gòu)信息包括多個(gè)線路板塊加工信息,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;

37、控制激光加工設(shè)備,基于各線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,其中,至少一個(gè)線路板塊中具有多層互連結(jié)構(gòu),多層互連結(jié)構(gòu)基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息一次成型得到;

38、控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板。

39、第三方面,本技術(shù)還提供了一種計(jì)算機(jī)設(shè)備,包括存儲(chǔ)器和處理器,存儲(chǔ)器存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,處理器執(zhí)行計(jì)算機(jī)程序時(shí)實(shí)現(xiàn)以下步驟:

40、獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息,其中,線路結(jié)構(gòu)信息包括線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;

41、控制激光加工設(shè)備,基于各線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,其中,至少一個(gè)線路板塊中具有多層互連結(jié)構(gòu),多層互連結(jié)構(gòu)基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息一次成型得到;

42、控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板。

43、第四方面,本技術(shù)還提供了一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì),其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序,計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)以下步驟:

44、獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息,其中,線路結(jié)構(gòu)信息包括線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;

45、控制激光加工設(shè)備,基于各線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,其中,至少一個(gè)線路板塊中具有多層互連結(jié)構(gòu),多層互連結(jié)構(gòu)基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息一次成型得到;

46、控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板。

47、第五方面,本技術(shù)還提供了一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品,包括計(jì)算機(jī)程序,該計(jì)算機(jī)程序被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)以下步驟:

48、獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息,其中,線路結(jié)構(gòu)信息包括線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息;

49、控制激光加工設(shè)備,基于各線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,其中,至少一個(gè)線路板塊中具有多層互連結(jié)構(gòu),多層互連結(jié)構(gòu)基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息一次成型得到;

50、控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板。

51、第六方面,本技術(shù)還提供了一種工件,采用如上的方法加工得到。

52、上述多層互連線路板加工方法、系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)設(shè)備、計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品及工件,首先獲取多層互連線路板的線路結(jié)構(gòu)信息,其中,線路結(jié)構(gòu)信息包括線路板塊拼接信息以及多個(gè)線路板塊加工信息,至少一個(gè)線路板塊加工信息中包含有目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息,然后控制激光加工設(shè)備,基于各線路板塊加工信息,加工多個(gè)線路板塊,其中,至少一個(gè)線路板塊中具有多層互連結(jié)構(gòu),多層互連結(jié)構(gòu)基于目標(biāo)互連結(jié)構(gòu)信息一次成型得到,再控制拼接裝置,基于線路板塊拼接信息,將各線路板塊拼接成多層互連線路板。這樣,由于每一個(gè)線路板塊內(nèi)的互連結(jié)構(gòu)是一次成型的,因此可以有效減少互連結(jié)構(gòu)的對(duì)準(zhǔn)操作次數(shù),且對(duì)于尺寸較小,容易產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)偏差的互連結(jié)構(gòu),通過(guò)一次成型,可以減少對(duì)準(zhǔn)操作,從而有效降低產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)偏差的概率,克服逐層堆疊過(guò)程中因?qū)訑?shù)增加和微孔尺寸減小而導(dǎo)致的對(duì)準(zhǔn)精度下降的問(wèn)題,提高線路板的可靠性和加工效率。

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