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本公開(kāi)涉及一種清潔裝置和方法。具體地，本公開(kāi)涉及一種用于結(jié)合襯底處理設(shè)備和方法使用的粒子清潔裝置和方法，所述襯底處理設(shè)備和方法諸如例如是帶電粒子設(shè)備、軟x射線設(shè)備、襯底量測(cè)設(shè)備、襯底檢查設(shè)備、光刻設(shè)備等和相關(guān)聯(lián)的方法。、諸如在半導(dǎo)體器件的制造中，襯底處理設(shè)備用于生產(chǎn)和檢查襯底。例如，在制造...

本公開(kāi)涉及變倍光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)設(shè)備及變倍光學(xué)系統(tǒng)的制造方法。、以往，提出了照片用相機(jī)、電子靜態(tài)相機(jī)、攝像機(jī)等光學(xué)設(shè)備中使用的變倍光學(xué)系統(tǒng)(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn))。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專(zhuān)利文獻(xiàn)、專(zhuān)利文獻(xiàn)：日本特開(kāi)-號(hào)公報(bào)技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本公開(kāi)的變倍光學(xué)系統(tǒng)從物體側(cè)依次具備具有正的光焦度的第透鏡組、具有...

、已知具有眼睛跟蹤設(shè)備的數(shù)據(jù)眼鏡。通常，這些數(shù)據(jù)眼鏡在裝配時(shí)需要初始校準(zhǔn)并且必要時(shí)在現(xiàn)場(chǎng)需要再校準(zhǔn)。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、提出一種混合式眼睛跟蹤設(shè)備、尤其是混合式高速眼睛跟蹤設(shè)備，所述混合式眼睛跟蹤設(shè)備優(yōu)選在數(shù)據(jù)眼鏡中，所述混合式眼睛跟蹤設(shè)備用于確定瞬時(shí)眼睛位置、尤其是所述數(shù)據(jù)眼鏡的用戶的眼睛的瞬...

本發(fā)明涉及至少具備偏振片的光學(xué)層疊體的制造方法。特別地，本發(fā)明涉及能夠抑制卷曲的光學(xué)層疊體的制造方法。、以往，作為液晶顯示裝置、有機(jī)el顯示裝置等的構(gòu)成材料，已使用了偏振片。偏振片除了具備偏振膜以外，還根據(jù)用途而具備相位差膜等。偏振膜例如由利用碘等二色性物質(zhì)進(jìn)行了染色的起偏鏡和保護(hù)該起偏鏡...

本發(fā)明涉及一種光學(xué)部件的制造方法，例如，可適用于在塑料(合成樹(shù)脂)基材的表面形成的細(xì)微的凹凸結(jié)構(gòu)上形成保護(hù)膜，制造在高溫環(huán)境下高防反射效果的光學(xué)部件的方法。、透光性優(yōu)異的塑料，因其重量輕、機(jī)械強(qiáng)度高、加工性好且能夠自由地進(jìn)行設(shè)計(jì)，因此特別被用作玻璃的替代材料。尤其是在光學(xué)領(lǐng)域中塑料被廣泛采...

本發(fā)明涉及變焦鏡頭的調(diào)校方法，尤其涉及一種連續(xù)變焦鏡頭的像面一致性調(diào)校方法。、目前，連續(xù)變焦鏡頭已廣泛應(yīng)用于安防、監(jiān)控、天網(wǎng)、交通、安全生產(chǎn)和森林防火等領(lǐng)域。連續(xù)變焦鏡頭包括不同的變焦組元，由于變焦組元中既有運(yùn)動(dòng)組元，如變倍組和補(bǔ)償組，又有固定組元，如前固定組、中間固定組和后固定組，使得其...

本發(fā)明涉及光刻設(shè)備，尤其涉及一種光刻設(shè)備中物鏡中心偏移的測(cè)量方法及裝置。、光刻設(shè)備是制造芯片的核心裝置，可以將掩膜版上的精細(xì)圖案經(jīng)過(guò)曝光印制到基板上。光刻設(shè)備在進(jìn)行光刻工藝前，需要對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)和物鏡的投影中心進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保光刻工藝精確執(zhí)行。、為對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)和物鏡的投影中心進(jìn)行校準(zhǔn)，需要先測(cè)量出物...

本發(fā)明涉及光通信，尤其涉及一種抗壓型蝶形光纜。、隨著光纖到戶技術(shù)的普及，蝶形光纜憑借其扁平化結(jié)構(gòu)、高柔韌性和低成本的優(yōu)勢(shì)，成為室內(nèi)外光纜布線的關(guān)鍵組件。然而，在復(fù)雜環(huán)境部署中，尤其是在管道穿引、墻體固定或土壤掩埋過(guò)程中，由于蝶形光纜采用扁平截面設(shè)計(jì)，容易出現(xiàn)局部應(yīng)力集中現(xiàn)象。在這種情況下，...

本發(fā)明涉及光學(xué)組件，特別涉及一種可調(diào)焦成像組件。、可調(diào)焦成像組件是一種高性能的光學(xué)設(shè)備，這種組件廣泛應(yīng)用于各種成像系統(tǒng)中，如機(jī)器視覺(jué)、紅外熱成像等領(lǐng)域。通過(guò)調(diào)整焦距，用戶可以清晰地觀察到不同距離的目標(biāo)，獲取更加準(zhǔn)確的圖像數(shù)據(jù)?？烧{(diào)焦成像組件能夠?qū)崿F(xiàn)精確的焦距調(diào)節(jié)，是科研、工業(yè)檢測(cè)等領(lǐng)域的理...

本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備，尤其涉及一種調(diào)節(jié)裝置及檢測(cè)設(shè)備。、ct設(shè)備利用x射線束照射物品或人體，根據(jù)掃描圖像判斷是否攜帶危險(xiǎn)物品，或者對(duì)疾病進(jìn)行診斷，ct設(shè)備廣泛應(yīng)用于安檢領(lǐng)域和醫(yī)療領(lǐng)域。光柵組件是ct設(shè)備重要的組成部件，光柵組件包括多組光柵，多組光柵的安裝位置對(duì)掃描圖像質(zhì)量具有重要的影響。、相...

本公開(kāi)涉及光刻膠，具體涉及一種光刻膠組合物及其制備方法、應(yīng)用。、自世紀(jì)年代以來(lái)，光刻技術(shù)已經(jīng)成為半導(dǎo)體工業(yè)中的基本制造工藝，并且廣泛應(yīng)用于芯片的開(kāi)發(fā)。光刻膠一直是光刻技術(shù)進(jìn)步的決定性因素，因?yàn)楣饪碳夹g(shù)的本質(zhì)是通過(guò)光刻膠來(lái)生成微納圖案。通常光刻膠經(jīng)過(guò)旋涂形成一定厚度、具有光解溶解度轉(zhuǎn)變和抗蝕...

本發(fā)明涉及電子成像，尤其涉及一種打印控制方法及圖像形成裝置。、打印機(jī)、復(fù)印機(jī)等圖像形成裝置中包含有定影裝置，定影裝置在高溫高壓下，將顯影劑(碳粉)熔化并滲入到紙張纖維的縫隙內(nèi)，以達(dá)到固定碳粉、印刷紙張的目的。根據(jù)紙張加熱功能實(shí)際，定影裝置需要對(duì)加熱元器件進(jìn)行溫度的檢知，并完成反饋及控制動(dòng)作...

本發(fā)明屬于光學(xué)設(shè)計(jì)領(lǐng)域，涉及一種覆蓋可見(jiàn)光、近紅外、中波紅外和長(zhǎng)波紅外的光學(xué)系統(tǒng)。、在目標(biāo)的探測(cè)與識(shí)別中，光電探測(cè)是一種常見(jiàn)的手段。隨著光電探測(cè)應(yīng)用背景的日益復(fù)雜，使用單波段系統(tǒng)進(jìn)行探測(cè)時(shí)獲取的信息量有限，使得在進(jìn)行目標(biāo)探測(cè)中準(zhǔn)確率降低甚至出現(xiàn)不能識(shí)別到目標(biāo)的情況。因此，寬波段成像或多波段...

本發(fā)明涉及自動(dòng)對(duì)焦，特別涉及一種基于單光子計(jì)數(shù)的顯微自動(dòng)對(duì)焦方法。、熒光共聚焦和受激輻射顯微鏡是當(dāng)今生物醫(yī)學(xué)研究高分辨成像的重要手段，為了減少光毒性對(duì)樣品的影響，使用激光光源功率更低，照射時(shí)間更短，普通ccd和cmos對(duì)弱熒光信號(hào)檢測(cè)不靈敏，不適用原子熒光探測(cè)技術(shù)，而基于雪崩光電二極管的單...

本申請(qǐng)涉及精密光學(xué)儀器制造，尤其涉及一種曲面棱鏡的高精度裝配注膠裝置及方法。、曲面棱鏡組件作為光學(xué)系統(tǒng)的核心部件，其裝配精度和膠層均勻性對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的整體性能和穩(wěn)定性具有決定性影響。、然而，傳統(tǒng)裝配方法存在裝配精度不足、膠層厚度分布不均等問(wèn)題，嚴(yán)重制約了光學(xué)系統(tǒng)性能的提升。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本申...

本申請(qǐng)涉及光伏領(lǐng)域，特別涉及一種顯影方法及裝置。、顯影工藝是太陽(yáng)能電池片(以下簡(jiǎn)稱(chēng)電池片)生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵步驟。在電池片的柵線的制備工藝中，需要先在電池片基底上涂布感光膠，進(jìn)而利用曝光工藝將電池片基底上涂布的部分感光膠曝光以形成曝光區(qū)，再通過(guò)顯影工藝將曝光區(qū)或者非曝光區(qū)中的感光膠去除，以獲...

本發(fā)明涉及顯示，尤其涉及一種液晶顯示屏顯示異常分析處理方法及裝置。、隨著科技的發(fā)展，手機(jī)、電視等逐漸向更輕、更薄、更大的方向發(fā)展，這也要求使用的液晶顯示(liquid?crystal?display，lcd)屏逐漸向薄型化、輕量化及可靠性方面轉(zhuǎn)變。lcd屏包括液晶盒、上偏光片和下偏光片，其...

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制造與精密加工，尤其涉及一種微動(dòng)臺(tái)位置測(cè)量系統(tǒng)。、隨著現(xiàn)代工業(yè)技術(shù)的飛速發(fā)展，在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，工件臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制精度直接決定了晶圓曝光的準(zhǔn)確性，這種精度的提升不僅能夠改善芯片的設(shè)計(jì)規(guī)則尺寸，還能夠進(jìn)一步提高良率，降低生產(chǎn)成本，工件臺(tái)的結(jié)構(gòu)通常由粗動(dòng)臺(tái)和微動(dòng)臺(tái)組成，粗動(dòng)臺(tái)主...

本申請(qǐng)涉及光學(xué)，尤其涉及一種純相位光學(xué)元件及超分辨聚焦方法。、由于光學(xué)衍射效應(yīng)的限制，光學(xué)系統(tǒng)的極限聚焦尺寸，即聚焦光斑直徑的最小數(shù)值，根據(jù)瑞利判據(jù)，給定為.λ/na(λ為入射光波的波長(zhǎng)，na為光學(xué)系統(tǒng)的數(shù)值孔徑)。突破這一衍射極限，在光學(xué)波段獲得超越衍射極限的聚焦光斑，對(duì)于激光加工、顯微...

本發(fā)明涉及一種藥液、試劑盒、圖案形成方法、藥液的制造方法及藥液收容體。、通過(guò)包含光刻的配線形成工序制造半導(dǎo)體器件時(shí)，使用含有水和/或有機(jī)溶劑的藥液來(lái)作為預(yù)濕液、抗蝕劑液、顯影液、沖洗液、剝離液、化學(xué)機(jī)械研磨(cmp：chemicalmechanical?polishing)漿料及cmp后的...