本發(fā)明涉及半導體設備，尤其涉及一種加熱結構。
背景技術：
1、在半導體設備的加熱系統(tǒng)中，腔體和一些關鍵結構需要達到一定的溫度，才能促使化學反應或進行其他精密操作。為了實現這一目標，通常采用圓柱形電阻熱源作為集中供熱方案。這種熱源形式具有結構簡單、便于控制和穩(wěn)定性高等優(yōu)點。
2、圓柱形電阻熱源通常與被加熱部件如加熱塊通過孔軸配合的方式進行連接。這種配合方式可以有效地將熱量傳遞到被加熱部件，但在設計時面臨兩個相互矛盾的挑戰(zhàn)，為了實現更高的加熱效率，圓柱形電阻熱源與被加熱器件之間需要有更緊密的接觸。緊密的接觸可以減少熱量在接觸面之間的傳遞損失，從而提高整體的熱傳導效率。然而，緊密接觸也帶來了拆裝困難的問題，特別是在需要定期維護、更換或調整時。為了確保設備在需要時能方便地拆卸和更換加熱棒，必須在圓柱熱源和配合孔之間留有一定的間隙。這個小間隙可以確保加熱棒可以順利安裝和拆卸，避免由于過緊的配合導致無法取出或安裝。然而，留有間隙的做法會造成熱源與被加熱部件之間的熱接觸不夠緊密，從而降低加熱效率，產生熱損失。
3、綜上所述，如果圓柱熱源與被加熱部件的配合非常緊密，拆裝時可能會因為摩擦力過大或熱膨脹等因素導致加熱棒和配合孔卡住，影響拆卸操作，甚至可能損壞零部件。如果為了便于拆裝而在熱源與被加熱部件之間保持一定的間隙，這將導致熱量傳遞的效率降低。熱源和被加熱部件之間的空隙會造成熱損失，降低整體加熱效果，影響設備的性能。
4、因此，有必要設計一種新的結構，實現既能保持較高熱效率，又能方便拆裝。
技術實現思路
1、本發(fā)明的目的在于克服現有技術的缺陷，提供一種加熱結構。
2、為解決上述技術問題，本發(fā)明的目的是通過以下技術方案實現的：提供一種加熱結構，包括：熱源體以及被加熱件，所述熱源體置于所述被加熱件內，且所述熱源體與所述被加熱件的接觸面呈傾斜狀。
3、其進一步技術方案為：所述熱源體與所述被加熱件的接觸面沿著靠近所述被加熱件的底部的方向傾斜。
4、其進一步技術方案為：所述被加熱件內設有安裝孔，所述熱源體置于所述安裝孔內。
5、其進一步技術方案為：所述安裝孔的內側壁呈傾斜狀。
6、其進一步技術方案為：所述熱源體與所述安裝孔的內側壁接觸，形成所述接觸面。
7、其進一步技術方案為：所述熱源體的外壁呈傾斜狀，所述熱源體的外壁與所述安裝孔的內側壁接觸。
8、其進一步技術方案為：所述熱源體呈倒置圓錐形。
9、其進一步技術方案為：所述安裝孔呈倒置圓錐形。
10、其進一步技術方案為：所述安裝孔的圓錐角與所述熱源體的圓錐角相等。
11、其進一步技術方案為：所述安裝孔的圓錐角小于所述熱源體的圓錐角。
12、本發(fā)明與現有技術相比的有益效果是：本發(fā)明通過將熱源體置于被加熱件內，并設計接觸面為傾斜狀，既能增強熱源體與被加熱件的接觸面積，從而提高熱效率，傾斜面的設計不僅優(yōu)化了熱傳導，還能在加熱過程中確保接觸穩(wěn)定，避免熱量流失，同時，傾斜接觸面使得熱源體能夠更容易地與被加熱件分離，便于拆卸和維護；整體上，這種設計實現了高效加熱與方便拆裝的平衡。
13、下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步描述。
1.一種加熱結構，其特征在于，包括：熱源體以及被加熱件，所述熱源體置于所述被加熱件內，且所述熱源體與所述被加熱件的接觸面呈傾斜狀。
2.根據權利要求1所述的一種加熱結構，其特征在于，所述熱源體與所述被加熱件的接觸面沿著靠近所述被加熱件的底部的方向傾斜。
3.根據權利要求1所述的一種加熱結構，其特征在于，所述被加熱件內設有安裝孔，所述熱源體置于所述安裝孔內。
4.根據權利要求3所述的一種加熱結構，其特征在于，所述安裝孔的內側壁呈傾斜狀。
5.根據權利要求4所述的一種加熱結構，其特征在于，所述熱源體與所述安裝孔的內側壁接觸，形成所述接觸面。
6.根據權利要求5所述的一種加熱結構，其特征在于，所述熱源體的外壁呈傾斜狀，所述熱源體的外壁與所述安裝孔的內側壁接觸。
7.根據權利要求3所述的一種加熱結構，其特征在于，所述熱源體呈倒置圓錐形。
8.根據權利要求7所述的一種加熱結構，其特征在于，所述安裝孔呈倒置圓錐形。
9.根據權利要求8所述的一種加熱結構，其特征在于，所述安裝孔的圓錐角與所述熱源體的圓錐角相等。
10.根據權利要求8所述的一種加熱結構，其特征在于，所述安裝孔的圓錐角小于所述熱源體的圓錐角。